光譜分析儀的內標是用于動(dòng)態(tài)校正樣品和標準之間物理差異，所有樣品都跟同一元素進(jìn)行比對而進(jìn)行校正的，根據內標元素信號的降低或者增強來(lái)對樣品進(jìn)行校正。內標抗干擾能力強，并且能解決物理方面造成的差異。
由于激發(fā)源條件變化等原因，譜線(xiàn)絕對強度再現性較差,所以在實(shí)際光譜分析時(shí)一般采用相對強度,選用一條比較譜線(xiàn),用分析線(xiàn)與比較線(xiàn)強度比進(jìn)行光譜定量分析，所采用的比較線(xiàn)稱(chēng)為內標線(xiàn)或參比線(xiàn)，提供這種比較線(xiàn)的元素稱(chēng)為內標元素。
一般以被測樣品基體作為內標元素,以?xún)葮嗽氐囊粭l或幾條譜線(xiàn)作為內標線(xiàn)，如分析鋼鐵時(shí)以鐵為內標元素。以CCD為檢測器的儀器則沒(méi)有出射狹縫，其波長(cháng)示值誤差就是實(shí)際的譜線(xiàn)波長(cháng)誤差，其檢定方法與ICP光譜類(lèi)似。譜線(xiàn)標準值一般軟件里有注明，也可查詢(xún)美國國家標準與技術(shù)研究院(NIST)標準光譜譜線(xiàn)庫。
